美國Setra西特217超高純壓力變送器
Setra西特217超高純壓力變送器常用型號217G025PGE11106J,217G050PGE11106J,217G250PGE11106J, 217G138BGE11106J,217G500PGE11106J,217G1000PGE11106J,217G2000PGE11106J,217G3000PGE11106,217G0R7BGE11106J,217G3R4BGE11106J,217G017BGE11106J,217G007BGE11106J
217G035BGE11106J,
Setra 217 型壓力變送器專為模塊式 “Block” 氣體棒和面板設(shè)計,非常適合惡劣環(huán)境(例如冷氣流導(dǎo)致的溫度瞬變下的壓力測量應(yīng)用于·模塊式“Block”氣體棒和面板·高純度氣體輸送系統(tǒng)半導(dǎo)體過程工具。
特性·316 L VIM/VAR 不銹鋼·表面拋光度 7 Ra·1×10-9 級別的氨滲漏實驗·出色的穩(wěn)定性,避免停機(jī)·可選帶 C 型或 W 型密封的壓力端口·抗電磁干擾 / 射頻干擾,可防止誤停機(jī)易于吹掃·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)
217 型壓力變送器可選帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力端口,帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至 5 Ra(大 7 Ra),確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕,實現(xiàn)無污染氣體輸送。每個傳感器都采用質(zhì)譜儀進(jìn)行了 1 x 10-9 級別的氦滲漏試驗。
217 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種輸出類型,并提供多種標(biāo)準(zhǔn)電氣接口。頂部外側(cè)帶有零點和量程調(diào)整裝置,進(jìn)一步體現(xiàn)了***設(shè)計,適合所有朝下安裝的 UHP(超高純)壓力測量應(yīng)用。 217 型同時也是一款獲磚利的可變電容傳感器,采用 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板,可變電容在傳感器本體與電極板之間形成。當(dāng)氣體壓力提升時,隔膜會變得略圓,使電容減小。傳感器將檢測到電容變化,并基于磚利的電荷平衡原理,通過Setra ***的定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。
Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳感技術(shù)制造,能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)定的電壓或電流輸出信號。
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